真空泵有哪些密封要求

使用过水环真空泵的人都知道，该设备的密封工作是使用过程中非常重要的一个环节，一定不能大意。如果密封工作做得好，在使用的时候能够避免其真空度下降的情况发生;如果对密封工作敷衍了事，那么在某个时间段该设备就会出现故障问题，导致其损坏，无法正常使用，影响到我们的工作效率。

真空泵在其工作压强下，应及时排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三较型溅射离子泵，(或二较型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。

真空泵不能在大气压下工作，需要预真空，有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。

真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。